共聚集显微镜主要是选用3D捕获的成像技能，它经过数码相机针孔的高强度激光来完成数字成像，具有很强的纵向深度的分辩才能。

  共焦显微镜设备是在被测目标焦平面的共轭面上放置两个小孔，其间一个放在光源前面，另一个放在勘探器前面，如图所示。

  得到的图画是来自一个焦平面的光经过针孔数码相机聚集拍照，经过所累积的不同焦平面的图画序列，运用软件编译完好的 3d 图画。

  共焦显微镜体系所展现的扩大图画细节要高于惯例的光学显微镜。传统光学显微镜上常装备灵敏度较低的CCD相机来收集图画，关于低照度的光，如荧光无法勘探到，而共聚集显微镜体系运用的勘探元件是高灵敏度的光电倍增管，对弱小的荧光信号能够呈现出很高的灵敏度，而且还能够经过缩小激起规模并运用光学切片来消除背景噪声。

  在相同物镜扩大的条件下，共焦显微镜所展现的图画形状细节更明晰更微细，横向分辩率更高。如同为微纳检测的利器，共聚集显微镜却是与白光干涉仪有着许多不同，假如用一个字眼来描述，那么白光干涉仪是“文”，而共聚集显微镜是“武”。白光拿手亚纳米级超润滑外表的检测，寻求检测数值的精准；而共聚集拿手微纳级粗糙概括的检测，虽在检测分辩率上略逊一筹，但可供给色彩斑斓的真彩图画便于调查。

  VT6000系列共聚集显微镜以共聚集技能为原理、结合精细Z向扫描模块、3D 建模算法等，能测各类包含从润滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体外表，从纳米到微米等级工件的粗糙度、平整度、微观几许概括、曲率等参数，能对各种产品、部件和资料外表的面形概括、外表缺点、磨损状况、腐蚀状况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙空隙、台阶高度、曲折变形状况、加工状况等外表描摹特征做丈量和剖析。

  1）结构简略：仪器全体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，操控单元集成在设备主机之内，亦可选用笔记本电脑驱动，真实的完成了“拎着走”的便携式规划；

  3）操作快捷：选用全电动化规划，并可无缝联接位移轴与扫描轴的切换，图画视窗和剖析视窗同界面的规划风格，完成了所见即所得的快速检测作用；

  4）安全无忧：选用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功用进行了优化，保证共聚集显微镜在运用高倍物镜仅不到1mm的作业间隔时也能应对。