光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试,和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。光学3D轮廓测量仪是精密光学测量设备，振动会对其测量精度造成扰动，所以几乎都会配有隔振平台。

  3d光学轮廓测量仪可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。大范围的应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面上的质量要求高的领域中。

  光学3D轮廓仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。

  光学3D轮廓测量仪只需操作者装好被测工件，在检定软件上设定物镜倍率和测量模式后点击“开始”按钮，光学物镜会对工件表明上进行自动对焦和非接触扫描，并按设定的位置做测量，软件界面会实时扫描物体宏微观表面形貌；扫描结束后，操作者可通过分析工具对生成的3D形貌做多元化的分析，得到如轮廓、厚度、粗糙度、体积等多种表面形貌测量分析数据。大多数都用在对各种精密器件及材料表明上进行亚纳米级测量，能够达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。