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【48812】光谱共焦的干与丈量原理及厚度丈量形式

发布时间:2024-05-18 08:47:31作者:开云app入口

  光谱共焦位移传感器是经过五颜六色激光光源发射出一束高密度宽光谱光,经过色散镜头后,在量程范围内行程不同波长的单色光,每个波长对应一个间隔值,丈量光射到物体外表反射回来,只要满意共聚集条件的光,可以终究靠小孔被光谱仪感测到。经过核算被感测到光的焦点的波长,换算获的间隔值。今日由深圳立仪科技公司介绍光谱共焦的干与丈量原理及厚度丈量形式:

  干与丈量法依据白光干与图(SAWLI)的光谱剖析。是光谱共焦传感器等光学查验测验仪器仪表中必定涉及到的概念。

  它包含剖析在光谱仪上观察到的搅扰信号,以便丈量参比板和样品之间的气隙厚度。兴旺体系的独创性在于将参阅板固定在检测目标上。因为参阅板和样品固定在一起,机械振动不会影响丈量成果。

  此外,该传感器可用于丈量太薄而不允许运用颜色共焦技能的通明薄膜。最小可测厚度为0.4μm。

  光谱共焦丈量技能经过一系列剖析不同波长的光在特定外表的聚集方位以进行高精度的尺度丈量和微观描摹剖析。依据这一丈量原理,特定波长的光或许聚集在样品正面,而关于通明原料样品,两条不同波长的光在样品的正反面聚集。这正是光谱共焦供给的两种丈量形式,前者为位移丈量形式,后者为厚度丈量形式。

  在丈量玻璃、镜片等通明样品时,不同波长的两束光在样片正反外表聚集,在导入样品折射系数参数之后,可核算出该样品的厚度值。比较于游标卡尺等传统的触摸式丈量东西,光谱共焦丈量具有一切非触摸式光学丈量的优势,一起还具有单侧丈量即可获取样品厚度值的特性。

  折射系数直接影响厚度丈量的数据精度,因而在丈量开始时应先承认样品的折射率。折射率可参阅同类资料的数值,但如需取得更高精度的厚度丈量成果,需凭借折光仪测得样品的折射率。

  光谱共焦的两种丈量形式可在软件界面中自在切换,不需要重新启动设备或体系。因而,无论是样品外表尺度丈量,仍是通明原料厚度丈量,亦或是一起获取通明样品的外观尺度和厚度信息,光谱共焦丈量技能都能从容应对。