仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表明上进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面上的质量的2D、3D

  VT6000共聚焦显微镜可大范围的应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供相关依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

  (3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再做测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，就可以快速实现批量测量功能；

  (5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

  (6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

  单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；

  2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。

  测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采取了激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。

  在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作的步骤中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。

  ：成像原理、功能、分辨率与优势解析 /

  。在它用于精确测量样品的尺寸、形状、表面粗糙度或其他物理特性时，可提供非常精确的三维形貌图像，这使得它成为测量样品表面特征的强大工

  的区分 /

  ，基于光学共轭共焦原理，其超高的空间分辨率和三维成像能力，提供了全新的视角和解决方案。工作原理

  可以在非常小的区域内进行高分辨率成像，用途广泛。特别在材料科学研究中，适合用于观察材料的表面形貌结构。中图

  大倾角超清纳米测量应用场景举例 /

  能够观察材料表面和内部的微观结构，在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等领域中，

  的应用 /

  具有高分辨率和高灵敏度的特点，适用于多种不同样品的成像和分析，能够产生结果和图像清晰，易于分析。这些特性使

  能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，可以有明显效果地提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助

  应用特点 /

  到样品表面。之后光束经样品表面反射回测量系统。再次通过MPD上的针孔时，反射光将只保留

  可对其进行高效测量，并根据测量实时生成数据和图像。本期「美能光伏」将给您介绍美能3D

  的自动化测量 /

  技术，它能够给大家提供高分辨率和三维成像能力，对材料科学等领域具备极其重大意义。三维成像原理由LED光源发出的光束经过一个多孔盘和物镜后，

  如何三维成像 /

  ，在结构较为复杂且反射率低的表面3D微观形貌重构与检验测试方面具有不俗的表现。一、结构深、角度大VT6000系列

  形貌检测技术，大范围的应用于涉足超精密加工领域的三维形貌检测与表面上的质量检测方案。其中，VT6000系列

  介绍 /

  【紫光同创盘古PGX-Nano教程】——（盘古PGX-Nano开发板/PG2L50H_MBG324第八章）密码锁实验例程