3D成像技能完结了二维到三维的晋级。智能化制作下，具有3D成像功用的机器视觉体系能更快，更精确地查看出产现场的组件。其间外表描摹的3D丈量，包含了概括的丈量以及外表粗糙度的丈量，是微纳结构丈量最为根底和重要的项目。现在常用的微结构外表描摹丈量办法分为触摸式和非触摸式。运用非触摸式丈量技能的3D光学查验测验仪器，大多是依据光学办法（干与显微法、主动聚集法、激光干与法、光学显微干与法等），可对精细零部件的外表粗糙度、细小描摹概括及尺度完结微纳级丈量，在微纳米结构查验测验中有着重要意义。中图仪器依据3D光学成像丈量非触摸、简略易操作、速度快等长处，以光学丈量技能创新为开展根底，研发出了惯例尺度光学丈量仪器、微观尺度光学丈量仪器、大尺度光学丈量仪器等，能供给从纳米到百米的精细丈量解决方案。

  主动聚集法是依据几许光学的物象共轭联系，能使得场景方针在成像体系中精确明晰成像的某种主动调理进程，当照明光斑会聚在被测面时，进一步调整检测头与外表的间隔，直至光斑像尺度最小而得到该被测方位的相对高度。

  Novator系列复合式印象仪是一款能充沛的发挥光学电动变倍镜头高精度优势的全主动印象丈量仪。

  激光共焦扫描显微术是一项高分辨率三维光学成像技能。运用精细共焦空间滤波结构，经过物象共轭联系滤除焦点外的反射光，进步成像的可见度。共焦显微镜设备是在被测目标焦平面的共轭面上放置两个小孔，其间一个放在光源前面，另一个放在探测器前面。得到的图画是来自一个焦平面的光经过针孔数码相机聚集拍照，经过所累积的不同焦平面的图画序列，运用软件编译完好的 3d 图画。

  VT6000共聚集显微镜具有粗糙度剖析、几许概括剖析、结构剖析、频率剖析、功用剖析等五大剖析功用。依据激光共聚集显微丈量技能，装备了线D真彩图画，对细节的展示纤毫毕现；对大斜度的产品有更好的成像作用，能在满意精度的状况下使运用场景更具兼容性。在资料出产领域中供给色彩斑斓的真彩图画便于调查。

  干与显微法是光学干与法与显微体系相结合的产品，经过在干与仪上添加显微扩大视觉体系，进步了干与图的横向分辨率，使之能完结微纳结构的三维外表描摹丈量。

  SuperViewW1白光干与仪是一个光学干与显微丈量体系，依据白光干与原理研发而成，选用扩展型的相移算法EPSI，调集了相移法PSI的高精度和笔直法VSI的大范围两大长处，单一形式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种外表类型。大多数都用在对各种产品、部件和资料外表的平面度、粗糙度、波纹度、面形概括、外表缺点、磨损状况、腐蚀状况、孔隙空隙、台阶高度、曲折变形状况、加工状况等外表描摹特征做丈量和剖析。

  高精度仪器设备需求不断推进着微纳米技能向前开展，因而高精度的微纳检测技能也成为了必定需求。依据不同丈量要求，每种高精度丈量仪器都有其适用性，在选设备的时分要依据详细需求来挑选。