(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)创造专利请求(10)请求发布号 (43)请求发布日 (21)请求号 4.8(22)请求日 2020.03.11(71)请求人 北京理工大学地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号(72)创造人 赵维谦何奇邱丽荣(74)专利署理组织 北京正阳理工知识产权署理事务所(一般合伙) 11639署理人 王民盛(51)Int.Cl.G01H 9/00 (2006.01) (54)创造称号激光共焦/差动共焦振荡参数丈量方法(57)摘要本创造揭露的一种激光共焦/差动共焦振荡参数丈量方法，归于光学精细丈量技术领域。本创造在共焦、差动共焦丈量体系中，首先在共焦、差动共焦轴向...

  (19)中华人民共和国国家知识产权局(12)创造专利请求(10)请求发布号 (43)请求发布日 (21)请求号 4.8(22)请求日 2020.03.11(71)请求人 北京理工大学地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号(72)创造人 赵维谦何奇邱丽荣(74)专利署理组织 北京正阳理工知识产权署理事务所(一般合伙) 11639署理人 王民盛(51)Int.Cl.G01H 9/00 (2006.01) (54)创造称号激光共焦/差动共焦振荡参数丈量方法(57)摘要本创造揭露的一种激光共焦/差动共焦振荡参数丈量方法，归于光学精细丈量技术领域。本创造在共焦、差动共焦丈量体系中，首先在共焦、差动共焦轴向呼应曲线上界说了最优测验区间，在最优测验区间内，共焦、差动共焦轴向呼应曲线对轴向位移的灵敏度最高。其次，针对不同的振幅，界说了不同的丈量形式。经过不同的丈量形式来保证振荡的最大轴向位移一直坐落最优测验区间内。从而使用强度与振荡面轴向方位的对应联系完成具有高动态规模的振荡特性丈量。与已有的振荡丈量方法比较，本创造具有丈量精度高、振幅丈量规模广、频率丈量带宽高、可丈量周期运动和非周期运动、抗环境搅扰能力强且结构相对比较简单等优势，在光学精细丈量技术领域具有广泛的使用远景。权利要求书3页 说明书7页 附图6页CN 111307268 A2020.06.19CN 111307268 A