形精度慢慢的升高，因此对光学元件的表面轮廓检测提出了更大的挑战。非球面基底

  衍射光学元件的出现及应用能够减小光学系统体积和重量，同时能很好地校正像

  差，实现复杂光学系统的小型化、紧凑化，因此慢慢的被精密光学领域所重视，被

  应用于先进武器装备、天文观测、空间侦查等系统当中。非球面基底衍射光学元件

  的轮廓特点是口径大、表面不连续、宏观尺寸上叠加微观结构。能否实现对其进行

  高精度的测量，决定了该类元件是不是能够进行大规模加工以及普遍的使用，因对此类

  实现了对非球面基底衍射元件母线的二维轮廓测量和轮廓提取，重点研究了共焦扫

  台阶边缘判据以及台阶高度计算方法的研究，提出了利用最大光强值判断台阶边缘

  (3)进行了基于LabVIEW平台的系统软件编写工作，软件实现了非球面基底衍

  证了三维共焦扫描测量的能力；其次验证了曲面基底台阶高度计算算法的准确性，

  与Taylor–Hobson测量结果作对比，根据结果得出台阶高度计算结果差值不超过

  50nm；最后验证了系统对红外非球面基底衍射元件以及非球面元件来加工补偿的

  能力，根据结果得出通过本系统测量数据来进行补偿能够使元件的最终加工表面轮廓误差