KLA Instruments 品牌下多样化的光学轮廓仪产品都具有各自悠长的立异前史。

  的光学轮廓仪，它结合了结构照明、共聚集光学以生成高分辨率的3D外表描摹数据和外表真彩图画。该技能使用户可以

  轻松地聚集在任何通明或不通明的外表上，以此来完成对台阶高度和粗糙度的快速丈量

  同年，Zeta-200 发布，带有主动化载台，并推出了发光二极管 (LED) 使用的解决方案。

  Zeta-200 光学轮廓仪使用高透射光学规划、背光源照明技能和专有算法来丈量图形化的蓝宝石衬底 (PSS)。 该体系可以

  ，丈量视场中一切 PSS 凸起的高度和距离，然后防止仅丈量一小部分区域而发生过错的凸起信号或导致的成果误差。经过

  Zeta-20 选用 ZDot技能，为封装微流体器材等通明多外表使用场景供给了一种立异的丈量解决方案。微流体器材的封装工艺通常会改动通道的尺度和外形，然后影响器材的功用。因而，封装后的丈量对客户的产品操控至关重要。Zeta-20高透射率的光学规划使得ZDot 信号在经过多膜层透射后仍能坚持足够强度，然后可以完成对微流体器材玻璃盖板封装前后要害尺度参数的丈量，例如盖板的厚度、微流体通道的深度和尺度。

  绒面工艺操控关于操控绒面金字塔结构的高度、外形和尺度散布至关重要，由于这会影响太阳能电池的光捕获功率。Zeta-20供给了专为绒面金字塔丈量的解决方案，可完成金字塔结构的主动勘探和计算。

  金属栅线选用丝网印刷工艺，该工艺会带来金属栅线的宽度、高度、体积、电学特性等方面的改变，然后添加器材的制作本钱。

  Zeta-20的高动态规模丈量形式（HDR）为金属栅线工艺供给了丈量解决方案，可完成对反射率差异较大的资料丈量。

  在太阳能电池制作工艺过程中，HDR形式被用于丈量镀有减反膜涂层绒面外表的金属栅线D描摹。

  KLA旗下Filmetrics 推出了世界上首个专门用于3D描摹数据处理的网络使用程序ProfilmOnline® ，使用网络浏览器和强壮的智能手机功用，使用户无需电脑即可剖析、存储和同享3D数据，包含光学轮廓仪、扫描探针显微镜（如原子力显微镜）和其他三维成像显微镜等获取的三维描摹数据。用户都可以快捷地从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据，对其做多元化的剖析，并与搭档同享丈量成果。ProfilmOnline®答应用户经过跨渠道的恣意设备，随时随地拜访数据。

  Zeta-388支撑OCR和SECS/GEM，然后可用于全主动产线的出产制作。该体系供给了具有出产价值的工艺操控丈量，如PSS上的凸块高度、粗糙度和台阶高度。

  Filmetrics 正式参加 KLA Instruments 集团。在薄膜厚度、资料光学特性（n、k 值）的丈量方面，Filmetrics 系列薄膜丈量仪扩大 KLA 桌面式量测产品线。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩大 KLA光学轮廓仪产品线，为客户供给高性价比的外表描摹丈量解决方案。

  Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电池结构的表征才能拓宽至1µm以下。这款新式的Zeta光学轮廓仪，根据具有ZDot技能的Zeta-20规划，可装备230mm x 230mm尺度的样品载台，并具有一切标准化且易用的多模组丈量才能。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺研制和制程操控的抱负量测东西。