文 章 编 号 ：０ ７ １８ （０ １０ － ０ ０ ０ １０ — １０２ １）９ ０ ５ － ４

  （． １ 我国科 学院 长春色 学精 密机械 与物理研 究所 应 用光 学国家要点实验室， 吉林 长春 １０ ３ ； ３ ０ ３ ２ 长春 理工大学 ，吉林 长春 ． １０ ２ ） ３ ０ ２

  Ｋｅ ｗｏ ｄ ： ｏ ｆｃ ｌ ｈｏ ｔ ； ｉｐａ ｅ ｎｅ ｓｒ； ｉｐ ｒｉｎｃ ｅｆ ｉｎ ｙ ｒｓ ｃｎｏ ａ ｒｍａｉ ｄｓ ｌｃ ｍｅ ｔ ｎ ｏｓ ｄｓ ｅｓ ｏ ｆ ｃｅ ｔ ｃ ｃ ｓ ｏ ｉ

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  （． ｔ ｅ ｅａｏａｏ Ａ ｐｉ ｐｉ ， ｈｎ ｃｕ ｓｔｔ ｏ ｔ ｓ Ｆｎ ｃ ａ ｉｎ ｈｓ ｓ １ Ｓａ ｙＬ ｂ ｒ ｒ ｏ ｐ ｌ ｄＯ ｔ ｓ Ｃ ａｇｈ ｎＩ ｔｕ Ｏ ｉ ， ｉ Ｍｅｈｎｃ ａｄＰ ｙｉ ｔＫ ｔ ｙｆ ｅ ｃ ｎｉ ｅｆ ｐ ｃ ｅ ｓ ｃ Ｃ ｉ ｓ Ａ ａｅ ｙｏ ｃ ｎ ｅ，Ｃ ａｇｈ ｎ ３ ０ ３ ｈｎ ； ｈｎ ｅ ｃｄ ｍ ｅ ｆＳ ｉ ｃｓ ｈｎ ｅ ｕ１０ ３ ，Ｃ ｉａ ｅ ２ Ｃ ａｇｈ ｎＵ ｉ ｒ ｔ ｏ ｉｎｅａｄＴ ｃｎ ｌ ｙ Ｃ ａ ｇｈ ｎ ３０ ２ Ｃ ｉ ） ． ｈｎ ｃｕ ｎｖ ｓｙｆ Ｓ ｅｃ ｎｅｈ ｏ ｇ ， ｈ ｎｃ ｕ１０ ２ ， ｈｎ ｅ ｉ ｃ ｏ ａ

  摘 要 ： 介绍 了光谱共 焦位移传 感器的结 构与原理 ，及其在 丈量厚度 方面的应 用 ，要点评论 了光谱共 焦位 移传感 器用于丈量通明材 料平行平板厚度 的可行 性 。对其发生的误 差进行 了详 细的剖析 ，并给 出 了相 应的补

  关键词 ：光谱 共焦 ：位 移传感器 ：色散 系数 中图分 类号 ：Ｔ ２ ２１ Ｐ １． ２ 文献标识码 ：Ａ

  间隔值 ，经过控制箱 中的光 电组件识 别并最 终得到 样 品的轴 向方位 。采 用高数 值孔径 的聚集镜 头可 以 使 传 感 器 达 到 较 高 的 分 辨 率 ｆ 向＜ ０Ｈ ｌ 轴 １ｉ，横 向 ｌ

  ＜ ／ ）。 ５ｘ Ｉ ｍ： ｌ 正是基 于这种共同 的原 理 ，使得光 谱共焦位 移 传 感器在位 移丈量上拥 有高精 度 不管 是单层 通明

  Ｄｏ Ｉ １ ３ ８ ／ ＥＩ １ ２８ ９．０ ０ ： ０．７ ８ ０Ｍ ２０ ０ ０ ５ １

  Ａｐ ｌ ａ ｉｎ ｏ ｎ ｏ ａ ｒ ｍａ ｉ Ｄｉｐａ ｅ ｐｉ ｔ ｆ ｃ ｏ Ｃｏ ｆ ｃ ｌ Ｃｈ ｏ ｔ ｓ ｌｃ ｍｅ ｔＳ ｎ ｏ ｓ ｔ ｃ ｎ ｅ ｓ ｒ ｏ

  Ａｂ ｔ ｃ ： Ｔ ｅ ｓ ｕ ｔ ｒ ｎ ｒｎ ｉ ｌ ｏ ｅ ｓ ｅ ｔ ｌ ｏ ｆ ｃ ｌ ｉ ｌ ｃ ｍｅ ｔ ｅ ｓ ｒ ｅ ｅ ｄ ｓ ｒ ｅ ｉ ｐ ｐ ｒ ａ ｄ ｓ ｒ ｔ ｈ ｔ ｃ ｕ ｅ ａ ｄ ｐ ｉ ｃｐ ｅ ｆ ｈ ｐ ｃｒ ｎ ｏ ａ ｓ ａ ｅ ｎ ｎ ｏ ｒ ｅ ｃ ｉ ｄ ｉ ｔ ｓ ａ ｅ， ｎ ａ ｒ ｔ ａ ｃ ｄ ｐ ｓ ｗ ｂ ｎ ｈ ｔ ｅ ａ ｐ ｉａｉ ｎ ｔ ｍｅ ｓ ｒ ｇｔ ｅ ｔｉ ｋ ｅ ｓ ｓ ｎ ｌｚ ｄ Ｔ ｅ ｐ ｐ ｒ ｕ ｅ ｎ ｔ ｅｆａ ｉｉ ｔ ｆ ａ ｕ ｉ ｇｔ ｅ ｐ ｒ ｌ ｌ ｈ ｐ ｌ ｔ ａ ｕ ｉ ｃ ｎ ｓ ａｙ ｅ ． ｈ ａ ｅ ￣ｃ ｓ ｄ ｏ ｈ ｅ ｓ ｌ ｙ ｏ ｓ ｒ ａａ ｌ ｃ ｏ ｏ ｎ ｈ ｈ ｗａ ａ ｂ ｉ ｍｅ ｎ ｈ ｅ ｐ ａ ｓｍａ ｅｏ ａ ｓ ａｅ ｔ ｔ ｒ ｌ． ｈ ａ ｕ ｅ ｎ ｒ ｒ ｅ ｅ ａｓ ｎ ｌｚ ｄ ａ ｄ ｔ ｅ ｃ ｒｅ ｐ ｎ ｉｇ ｃ ｍｐ ｎ ａ ｉｎ ｌ ｔ ｄ ｆ ｒ ｎ ｐ ｒ ｎ ｅ ｉ ｓ Ｔ ｅ ｍｅ ｓ ｒ ｍｅ ｔ ｒ ｓｗ ｒ ｌ ａ ａｙ ｅ ， ｎ ｏ ｒ ｓ ｏ ｄｎ ｏ ｅ ｓ ｔ ｅ ｔ ｍａ ａ ｅ ｏ ｏ ｈ ｏ

  物体 仍是多层通明物体 ，除了可以丈量 该物体 位移 ， 还 可 以丈量其 厚度 。如薄玻璃 片 ，平行 平板等 。平 行 平板 的前 后外表都会 反射 特定波长 的光 ．在单 色 仪上 取得 的是 呈现两个 峰值 的光谱 曲线 ，经过这 两 个峰值可以计算 出玻璃的厚度 。

  概括 。它们 战胜 了触摸式 检测 的许多缺 点 ，既提 高 了检测速度 ，又维护 了被测工件 外表免受 划伤及 防

  焦点 的反射信 号 ，从 而确认 每个单 色光波长 对应 的 相应 方位 。还可 以在高活络 感光 片上 成像 ，经过单

  现在 。非 触摸式 的精 密丈量位移 设备有共 焦位 移传感器 ，激光三角 反射式位 移传感 器 、电容 式传 感器 、电感 式传感器 等 。它们 具有适 应性强 、速度 快 、精度 高级特色 ，适 用于检 测各种 回转体 、箱体 零 件 的尺度和形位误 差 。而且可 以与快 速反应 盯梢 体系合作使 用 ，可以 精确快速地 测 出表 面 的形 状与