闫勇刚，刘志浩，朱小平，等．五颜六色光谱共焦传感器差错溯源及其校准办法剖析［Ｊ］．河南理工大学学报（自然科学版），２０２１，４０（５）：１１７１２３．ｄｏｉ：１０．１６１８６／ｊ．ｃｎｋｉ．１６７３９７８７．２０２００８００３２ＹＡＮＹＧ，ＬＩＵＺＨ，ＺＨＵＸＰ，ｅｔａｌ．Ｅｒｒｏｒｔｒａｃｉｎｇａｎｄｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎａｎａｌｙｓｉｓｏｆｃｏｌｏｒｆｕｌｓｐｅｃｔｒａｌｃｏｎｆｏｃａｌｓｅｎｓｏｒ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＨｅｎａｎＰｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ），２０２１，４０（５）：１１７１２３．ｄｏｉ：１０．１６１８６／ｊ．ｃｎｋｉ．１６７３９７８７．２０２００８００３２五颜六色光谱共焦传感器差错溯源及其校准办法剖析闫勇刚１ ，刘志浩 １ ，朱小平 ２ ，杜华 ２ ，李加福 ２ ，王耿 １（１．河南理工大学 机械与动力工程学院，河南 焦作 ４５４０００；２．我国计量科学研究院，北京 １０００２９）?摘要：针对国内光谱共焦传感器校准办法不一致、计量特性难以比较等问题，提出 ３种依据精细规范器的光谱共焦传感器校准办法，并依据此展开校准和计量特性鉴定。别离采取了精细位移台、高精度测长仪与激光干与仪 ３种规范器对光谱共焦传感器的根本差错、线性度、重复性、回程差错等参数进行校准，３种方...

  闫勇刚，刘志浩，朱小平，等．五颜六色光谱共焦传感器差错溯源及其校准办法剖析［Ｊ］．河南理工大学学报（自然科学版），２０２１，４０（５）：１１７１２３．ｄｏｉ：１０．１６１８６／ｊ．ｃｎｋｉ．１６７３９７８７．２０２００８００３２ＹＡＮＹＧ，ＬＩＵＺＨ，ＺＨＵＸＰ，ｅｔａｌ．Ｅｒｒｏｒｔｒａｃｉｎｇａｎｄｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎａｎａｌｙｓｉｓｏｆｃｏｌｏｒｆｕｌｓｐｅｃｔｒａｌｃｏｎｆｏｃａｌｓｅｎｓｏｒ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＨｅｎａｎＰｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ），２０２１，４０（５）：１１７１２３．ｄｏｉ：１０．１６１８６／ｊ．ｃｎｋｉ．１６７３９７８７．２０２００８００３２五颜六色光谱共焦传感器差错溯源及其校准办法剖析闫勇刚１ ，刘志浩 １ ，朱小平 ２ ，杜华 ２ ，李加福 ２ ，王耿 １（１．河南理工大学 机械与动力工程学院，河南 焦作 ４５４０００；２．我国计量科学研究院，北京 １０００２９）?摘要：针对国内光谱共焦传感器校准办法不一致、计量特性难以比较等问题，提出 ３种依据精细规范器的光谱共焦传感器校准办法，并依据此展开校准和计量特性鉴定。别离采取了精细位移台、高精度测长仪与激光干与仪 ３种规范器对光谱共焦传感器的根本差错、线性度、重复性、回程差错等参数进行校准，３种办法所测某种光谱共焦传感器的最大差错别离为 ２．７６，３．４０，１．１７ｍ，线．４６３，１．３２４，０．７８７ｍ，回程（迟滞）差错为 ０．５１ｍ。校准依据成果得出：所提出的 ３种计量特性校准办法是有用的，光谱共焦位移传感器计量特性满意使用上的要求，其间，激光干与校准法精度最高且牢靠。研究成果有助于进步五颜六色光谱共焦位移传感器校准功率和牢靠性，并为大尺度玻璃平面度的高精度丈量供给坚实的技能支撑。关键词：计量学；光谱共焦位移传感器；校准；非触摸丈量；差错剖析中图分类号：ＴＢ９２１文献标志码：Ａ 文章编号：１６７３９７８７（２０２１）５１１７７ＥｒｒｏｒｔｒａｃｉｎｇａｎｄｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎａｎａｌｙｓｉｓｏｆｃｏｌｏｒｆｕｌｓｐｅｃｔｒａｌｃｏｎｆｏｃａｌｓｅｎｓｏｒＹＡＮＹｏｎｇｇａｎｇ１ ，ＬＩＵＺｈｉｈａｏ １ ，ＺＨＵＸｉａｏｐｉｎｇ ２ ，ＤＵＨｕａ ２ ，ＬＩＪｉａｆｕ ２ ；ＷＡＮＧＧｅｎｇ １（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌ＆ＰｏｗｅｒＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｅｎａｎＰｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｊｉａｏｚｕｏ４５４０００，Ｈｅｎａｎ，Ｃｈｉｎａ；２．ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｓｏｆｉｎｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｓａｎｄｄｉｆｆｉｃｕｌｔｅｖａｌｕａｔｉｏｎｏｆｍｅｔｒｏｌｏｇｙｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｆｏｒｄｏｍｅｓｔｉｃｓｐｅｃｔｒａｌｃｏｎｆｏｃａｌｓｅｎｓｏｒｓ，ｔｈｒｅｅｋｉｎｄｓｏｆｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｓｗｅｒｅｄｅｖｅｌｏｐｅｄａｎｄａｐｐｌｉｅｄｔｏｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｍｅｔｒｏｌｏｇｙｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｆｏｒｔｈｅｓｅｎｓｏｒｓ．Ｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ，ｓｕｃｈａｓｂａｓｉｃｅｒｒｏｒ，ｌｉｎｅａｒｉｔｙ，ｒｅｐｅａｔａｂｉｌｉｔｙａｎｄｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｅｒｒｏｒ，ｗｅｒｅｅｖａｌｕａｔｅｄｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙｆｏｒａｃｅｒｔａｉｎｏｆｓｐｅｃｔｒａｌｃｏｎｆｏｃａｌｓｅｎｓｏｒｂｙｕｓｉｎｇｐｒｅｃｉｓｉｏｎｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｐｌａｔｆｏｒｍ，ｌｅｎｇｔｈｍｅａｓｕｒｉｎｇｍａｃｈｉｎｅａｎｄｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ．Ｔｈｅｍａｘｉｍｕｍ ｂａｓｉｃｅｒｒｏｒｓｗｅｒｅｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ２．７６，３．４０，１．１７ｍ ｗｉｔｈｉｎｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒａｎｇｅ．Ｔｈｅｌｉｎｅａｒｉｔｙｗａｓ０．６８９％，０．８５０％ ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ，０．２９３％．Ｔｈｅｒｅｐｅａｔａｂｉｌｉｔｙｗａｓ１．４６３，１．３２４，０．７８７ｍ ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ａｎｄｉｔｗａｓ０．５１ｍｆｏｒｔｈｅｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｅｒｒｏｒｗｉｔｈｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｅｄｔｈａｔｔｈｅｔｈｒｅｅｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｓｗｅｅｖａｌｉｄ，ａｎｄｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙｏｆｔｈｅｃａｌｉｂｒａｔｅｄｓｐｅｃｔｒａｌｃｏｎｆｏｃａｌｓｅｎｓｏｒｃｏｕｌｄｍｅｅｔｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔ．Ｔｈｅｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｓｃｈａｎｇｅｄｗｉｔｈｔｈｅｄｉｆｆｅｒｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｎｅｅｄｓ，ｏｆｗｈｉｃｈｔｈｅｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎａｃｃｕｒａｃｙａｎｄｃｏｒｒｅｃｔｎｅｓｓｂｙｕ第 ４０卷第 ５期２０２１年 ９月河南理工大学学报（自然科学版）ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＨＥＮＡＮＰＯＬＹＴＥＣＨＮＩＣＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮＡＴＵＲＡＬＳＣＩＥＮＣＥ）Ｖｏｌ．４０Ｎｏ．５Ｓｅｐ．２０２１ 收稿日期：２０２００８１１；修回日期：２０２０１０２４基金项目：国家自然科学基金赞助项目（５１７７５１７４）；河南省高校根本科研业务费专项资金赞助项目（ＮＳＦＲＦ８０３３２）；河南省科技攻关项目（３，２）榜首作者简介：闫勇刚（１９７７），男，河南孟州人，博士，讲师，主要是做光学精细丈量、视觉丈量等方面的教育和研究工作。Ｅｍａｉｌ：ｙｏｎｇｇａｎｇ＿ｙａｎ＠ｈｐｕ．ｅｄｕ．ｃｎ通讯作者简介：王耿（１９８４），男，河南南阳人，博士，副教授，主要是做精案丈量与操控方面的教育和研究工作。Ｅｍａｉｌ：ｗａｎｇｇｅｎｇ＠ｈｐｕ．ｅｄｕ．ｃｎ