推翻传统，将共聚集、干与和多焦面叠加技能交融于一身，丈量头内无运动部件。

  共聚集技能能用来丈量各类样品外表的描摹。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。运用它可完成临界尺度的丈量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚集在润滑外表丈量斜率达70（粗糙外表达86）。专利的共聚集算法确保Z轴丈量重复性在纳米领域。

  相位差干与是一种亚纳米级精度的用于丈量润滑外表高度描摹的技能。它的长处是任何扩大倍数都能够确保亚纳米级的纵向分辨率。运用2.5倍的镜头就能完成超高纵向分辨率的大视场丈量。

  白光干与是一种纳米级丈量精度的用于丈量各种外表高度描摹的技能。它的长处是任何扩大倍数都能够确保纳米级的纵向分辨率。

  多焦面叠加技能是用来丈量十分粗糙的外表描摹。依据Sensofar在共聚集和干与技能交融使用方面的丰厚经历，特别规划了此功能来补足低倍共聚集丈量的需求。该技能的最大亮点是快速(mm/s)、扫描规模大和援助斜率大（最大86）。此功能对工件和模具丈量特别有用。

  用分光反射计能够完善地处理薄膜厚度丈量。S neox在增加了分光反射计后能够丈量10nm的膜厚和最多10层膜。由所以经过显微镜头丈量，最小的丈量点为5um。由于体系里有组合的LED光源，所以实时调查和膜厚丈量能一起进行。

  SensoSCAN是一款简练友爱的操作软件。它将引领用户进入3D的国际，供给绝无仅有的运用者实在的体会。在软件界面内，用户都能够直观明确地了解所用的丈量方法，一起还能显现和剖析数据。

  增配SensoPRO LT或SensoMAP软件就能容易完成全自动丈量和剖析。