是一款用于对各种精细器材及资料标明上进行微纳米级丈量的查验测验仪器。它是以共聚集技能为原理、结合精细Z向扫描模块、3D 建模算法等对器材标明上进行非触摸式扫描并树立外表3D图画，经过系统软件对器材外表3D图画进行数据处理与剖析，并获取反映器材外表上的质量的2D、3D参数，以此来完成器材外表描摹3D丈量的光学检测仪器。

　　VT6000共聚集显微镜可大规模的应用于半导体制作及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精细配件、光学加工、微纳资料制作、轿车零部件、MEMS器材等超精细加工职业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包含从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体外表，从纳米到微米等级工件的粗糙度、平整度、微观几许概括、曲率等，供给相关根据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外规范合计300余种2D、3D参数作为点评规范。

　　2)印象丈量功用：设备具有二维平面概括尺度的印象丈量功用，可进行长度、视点、半径等尺度丈量；

　　4)数据处理功用：设备具有调整方位、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功用；

　　5)剖析东西功用：设备具有粗糙度剖析、几许概括剖析、结构剖析、频率剖析、功用剖析等五大剖析功用；

　　6)批量剖析功用：设备具有一键剖析和多文件剖析等辅佐剖析功用，可完成批量数据文件的快速剖析功用；

　　7)快捷操作功用：设备装备操纵杆，支撑操纵杆进行一切方位轴的操作及速度调理、光源亮度调理、急停等；

　　8)光源安全功用：光源设置无人值守下的主动熄灯功用，当检测到鼠标轨道长期未变化后会自主下降平息光源，避免光源高亮过热损坏，并有用延伸光源使用寿命；

　　9)镜头安全功用：设备装备压力传感器，并在镜头处进行了绷簧结构设计，保证当镜头磕碰后弹性回缩，进入急停状况，大幅减小磕碰冲击力，有用维护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全危险。

　　对各种产品、部件和资料外表的面形概括、外表缺点、磨损状况、腐蚀状况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙空隙、台阶高度、曲折变形状况、加工状况等外表描摹特征做丈量和剖析。