光学轮廓仪是确认MEMS设备外表特征的一 种很有用的东西。传统意义上，光学轮廓仪被用来丈量样品的外表特性。可是，在丈量过程中，所丈量的样品需保持在停止的状况下，假如样品不安稳或许 处于运动状况则会引起图画紊乱含糊、数据不完整或许数据丢掉等现象。但是，关于MEMS设备，需求确认该设备处于运动状况时的描摹特征，了解和确认 其在运动状况下的功用和特征对研制和出产质量操控至关重要，作为质量检验，只要动态丈量才可以真实模仿MEMS实践运作时的状况，从而到达正线、薄膜剖析使用

  曩昔，测验样品时，只要一个调制信号被检查到，但大部分的样品如半导体、MEMS、平面显示屏等，这些样品透射且能在样品的同一点上发生多个调制信号，使用传统的剖析方法来处理这些信号有或许导致不正确或不存在的数据。

  光学轮廓仪运用扫描白光干与技能装备软件和专利的FDA剖析技能使得外表描摹的丈量能到达次纳米量级。假如很好的操控丈量环境，挑选正真合适丈量参数以及牢靠的仪器校准，则外表粗糙度丈量可以到达皮米量级。

  在对超润滑标明上进行定量测验时，首先要清楚每一个丈量体系均存在其固有本底噪声。这些噪声来历电子噪声、接收器噪声、参阅镜外表的细小不平坦以及丈量环境引起的细小振荡等。对大多数样品，3D轮廓仪的丈量噪声基本上可疏忽，由于所丈量的成果远大于本底噪声。但关于很润滑的外表，本底噪声就得加以考虑，对这些样品的丈量就需求清楚知道噪声的来历并加以很好的操控。

  光学轮廓仪开端使用在光学加工职业时，其3D、高速、精细、牢靠和安稳，开端引起加工人士的留意并开端使用。光学轮廓仪已在轿车发动机喷油嘴、半导体切开刀具、人工关节制作、量块标定等方面有很多的使用。宁波森泉科技剖析软件中的一些特定功用如平面度、粗糙度、直线度和高度差等在机械加工检测中出现出新的使用。