10) 友爱的人机界面，简洁的图形化操控办理体系及 3D 图型显现； 11) 多种交流文件格局，可储存与读取多种 3D 概括文件格局； 三维光学概括丈量仪典型运用： 对各种产品、部件和资料外表的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形概括、外表 缺点、磨损状况、腐蚀状况、孔隙空隙、台阶高度、蚀刻状况、曲折变形状况、加工状况、 资料支撑率等外表描摹特征做丈量和剖析。 职业范畴 资料、精细加工行 业 汽车职业 液晶、平板显现行 业 生物医学职业 动力器材职业 半导体、微电子行 业 MEMS 微机电职业 光学职业 信息存储职业 印刷造纸职业 运用典范：

  三维光学概括丈量仪首要技能指标： 光源 印象体系 一般物镜 干与物镜 斜度 物镜座 光学 ZOOM XY 移动渠道 白光 LED；绿光 LED 1280×1024 1×、2.5×、5×、10×、20×、50×、100×、150× 5×、10×、20×、50×、100× 小于 42º 电控 5 孔物镜转盘 1×或 0.5× 丈量规模：100×100mm（可依照每个客户需求定制） 精度：0.5µm 分辨率：0.01µm 负载：10kg 操控方法：主动 水平调整 手动调整，±4°

  三维光学概括丈量仪总述 三维光学概括丈量仪是运用光学显微技能、白光干与扫描技能、核算机软件操控技能 和 PZT 笔直扫描技能对工件进行非触摸丈量，复原出工件 3D 外表描摹宏微观信息，并通 过软件供给的多种东西对外表描摹进行各种功用参数数据处理， 完成对各种工件外表描摹的 微纳米丈量和剖析的光学计量仪器。

  三维光学概括丈量仪典型特色： 1) 运用白光干与丈量技能，非触摸式、非破坏性、快速外表描摹丈量与剖析； 2) 3) 4) 5) 6) 7) 8) 台阶高度丈量分辨率达 0.1 nm； 可调配是非或五颜六色相机进行 2D、3D 显现和丈量功用； 装备电动鼻轮，可一起挂载多种物镜并程序化操控切换运用； 选用双光源形式，习惯特别样品丈量； 丈量规模 100×100mm(可按客户定制尺度)； 装备低倍率物镜(2.5×和 5×倍率)，可进行大面积 3D 丈量； 供给多种外表参数丈量功用，如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、 薄膜厚度及平面度； 9) 供给超越 250 多种各类参数（含 2D、3D）核算；

  组成资料、柔软资料、易腐蚀资料 蚀刻加工如硅纳米线样品化学蚀刻深度和面积丈量 非金属外表如玻璃、砂轮、有色金属如轴承钢球、轧制铝膜 曲轴外表的粗糙度、腐蚀和磨损外表描摹、喷油嘴、机械密封 液晶显现器、液晶距离、液晶棱镜薄片、蓝宝石衬底、手机显 示屏 人工牙齿、人工皮肤、手术刀的外表粗糙度、腐蚀和磨损纹路 等 太阳能电池 薄膜和涂层厚度丈量、晶元、大深邃比硅通孔（TSV）丈量 硅纳米线外表描摹、芯片、PCB 电子元器材、LEDS 微机电硬盘读头、微机电打印机喷嘴 光学镜片及镀膜、微透镜阵列、光学镜面激光抛光 光盘、硬盘外表 纸币印刷和纸张外表