3D光学干涉轮廓仪是一种用于测量物体表面的三维形貌的高精度仪器。其原理是利用光学干涉技术，将物体的形貌转化为可测量的干涉图案，再通过计算机进行图像处理和分析，从而得到物体表面的三维形貌。将一束光线分成两束，一束经过被测物体表面反射回来，另一束经过标准平面反射回来。这两束光线在干涉仪的探测器上形成干涉图案，干涉图案的形状与被测物体表面的高度起伏有关。经过测量干涉图案的形状，可以推算出被测物体表面的高度。

  具体来说，假设光线从干涉仪的发射器发出，经过分束器分成两束光线。一束光线经过标准平面的反射，另一束光线经过被测物体表面的反射。这两束光线在回到分束器时会产生干涉现象，干涉图案被探测器接收并转化为电信号。电信号经过放大、滤波等处理后，被送入计算机做多元化的分析和处理。

  1.微纳加工与制造：在微纳加工与制造领域，需要高精度的测量仪器来检测加工质量和加工效果。能够适用于测量微纳结构的三维形貌，为加工工艺的优化提供依据。

  2.生物医学工程：在生物医学工程领域，需要高精度的测量仪器来研究人体表面和内部器官的三维形貌。能够适用于测量人体表面和内部器官的三维形貌，为医学研究和诊断提供依据。

  3.地质学与地球物理学：在地质学与地球物理学领域，需要高精度的测量仪器来研究地球表面的地形地貌。能够适用于测量地球表面的地形地貌，为地质研究和资源勘探提供依据。

  4.光学器件与光学系统：在光学器件与光学系统领域，需要高精度的测量仪器来研究光学元件和系统的表面形貌。能够适用于测量光学元件和系统的表面形貌，为光学设计和制造提供依据。

  1.高精度：测量精度能够达到纳米级别，可以高精度地测量物体表面的三维形貌。

  2.非接触测量：采用非接触测量方式，不会对被测物体表面造成损伤，适合于测量脆性、易碎、大型等材料。

  4.多功能：不但可以测量平面和斜面，还可以测量曲面和复杂外形，具有广泛的应用范围。

  5.自动化程度高：能够使用自动化方式来进行测量，减少人为误差和操作时间。