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【48812】改造晶圆丈量:立仪光谱共焦位移传感器引领潮流

发布时间:2024-08-08 01:10:16作者:开云app入口

  在半导体出产领域,晶圆厚度的准确丈量对确保产品质量和进步出产功率至关重要。传统的丈量方法存在本钱高、操作杂乱以及精度缺乏的问题。为此,咱们提出了一种立异的解决计划,即选用国产光谱共聚集传感器,以削减相关本钱并进步丈量功率。

  1.分辩率比较高:理论上波长能够一向被细分,因而经过特别镜头能够输出适当高的分辩率。

  2.温度稳定性高:内部仅有镜头结构设计,镜头自身不发热,温度漂移小,关于微米以及亚微米丈量,温漂是要害。

  3.主动聚集:在量程范围内,被测物的方位高度上下改变时都有相应的波长的光聚集到物体外表,再反射回接收器。

  4.横向分辩率比较高:从上到下被测物总是在焦点上,丈量光斑极为细小,因而能分辩被测物上的细小概括改变。

  5.模块化小型化:镜头和控制器能够终究靠光纤衔接,传输间隔远,镜头能够做得很小,便于并排装置。

  6.调频抗搅扰:波长是调频信号,对光强改变等调幅搅扰不灵敏。光纤对电磁搅扰、雷电浪涌不灵敏。

  7.全息性:理论上恣意一束回来光谱分析仪的光线的波长都携带了间隔信息,部分光被遮挡影响小。

  8.安全性高:寿命长的LED光源,细小功率的白光,比激光对人眼安全,不受限于激光损害等级。

  深圳立仪科技有限公司建立于 2014 年,坐落深圳市光亮区,是一家以出产出售光谱共焦位移传感器及其配套设备为主的精细光学民营高科技企业。从 2014 年建立至今立仪一向以打造高标准的光谱共焦位移传感器并削减本钱遍及推广为志趣,聚集光学、机械、软件人才昼夜奋战,数年磨一剑,开发出自主知识产权的精细光谱共聚集位移传感器商业化产品系列,破除封闭补偿空白,并在原有根底上有大幅改善并申请了多项发明专利。咱们还供给本乡的有关技术支持、产品选型、使用计划咨询、测样验证、配套组件、开发帮忙、非标定制、校准修理,让客户用的适意,用的定心。高效研制,自主立异,为客户供给杰出的产品和服务。让科技利益众生,等待与各界公司和人士一同尽力一起协作,共创光辉!