是以白光干与技能为原理的一款用于对各种精细器材及资料标明上进行亚纳米级丈量的查验测验仪器。能够测到12mm，也能够测到更小的尺度，XY载物台规范行程为200×200㎜，部分位移精度可达亚微米等级，Z向扫描电机可扫描10mm规模，纵向分辨率可达0.1nm等级，因而可测十分细小尺度的器材；丈量大尺度样品时支撑拼接功用，将丈量的每一个小区域整合拼接成完好的图画，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度共同，可达0.1um。

  2、二维图画剖析：间隔，半径，斜坡，格子图，概括线、表界面丈量：通明外表描摹，薄膜厚度，通明薄膜下的外表；

  三维概括描摹丈量仪在平等扩大倍率下，丈量精度和重复性都高于共聚集显微镜和聚集成像显微镜。可掩盖8英寸及以下晶圆，定制版真空吸附盘，安稳固定Wafer；气浮隔振+壳体分离式规划，阻隔地上轰动与噪声搅扰。