白色光经分光板发射出特定波长的光。这种特定波长的光在双光束干涉物镜中，经过分光板被分成两束光，一束光照 射到参照物表面，另一束光照射样品表面，这样得到的两束反射光在相机上成像。将样品表面的凹凸不平引起的光程差所获得的干涉条纹信息转换成高度信息，生成3D图像。测量时通过计算机控制驱动装置的进给带动参考镜的进给，这样被测样本表面的不同高度平面就会逐渐进入干涉区，如果在充足的扫描范围内进给，被测样本表面的整个高度范围都能够最终靠最佳干涉位置。将每步的干涉图样由图像传感器采集，视频信号通过图像采集卡转换成数字信号并存储于计算机内存中，利用与被测面对应的各像素点相关的干涉数据，基于白光干涉的典型特征，通过采用某种最佳干涉位置识别算法对干涉图样数据来进行分析处理，提取出特征点位置，进而就很容易得到各像素点的相对高度，这样便实现了对三维形貌的测量。以往，表面形态的测量方法，一般是采用触针式粗糙度测量仪等进行二维测量，但近年来，伴随着材料的薄膜化和微细构造化的加速，需要获取更多的信息，因此，采用扫描型白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3等进行三维测量便得到了灵活应用。表面三维微观形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有最直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更全面、更真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而慢慢的受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过对三维形貌的测量可以比较全面地评定表面上的质量的优劣，进而确认加工方法的好坏及设计的基本要求的合理性，这样就可以反过来通过指导加工、优化加工工艺以加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。

  光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器，对样品基本上没有损害。视样品选不一样测量模式。相移干涉模式(PSI)大多数都用在测量光滑表面粗糙度；垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径，粗糙度的计测等。文章整理自：，转载请标注明确出处！