北京时刻2024年8月9日晚八点，iCANX Talks 第198期约请到了我国上海微体系所研讨员Tie Li，武汉大学教授Guoqiang Wu、上海微体系所研讨员Lijuan Liang进行共享！此外，北京大学Haixia Zhang教授担任嘉宾，电子科技大学Xiaosheng Zhang教授担任主持人。

  这将是一场会聚顶尖学者的盛会，一起讨论前沿科技与学术应战！更精彩，敬请期待！

  作为实际国际中的信息源自，高功能的传感器不仅对人类很重要，对智能机器人也很重要。纳米资料使制作超高功能的传感器成为可能。但是，低成本、大规模的传感器制作急需但远未完成。在本文中将总述咱们经过MEMS技能在晶圆级规划和纳米制作方面的作业，以及完成微换能器和高功能纳米传感器的集成。使用高选择性的CMOS技能，在绝缘体上硅（SOI）晶片上咱们选用自上而下的办法制作了小标准（~20nm）的硅纳米线（SiNW），并从而完成了简略、便携、快速的生物/化学查验测验渠道。一起，经过微热板和纳米有序传感资料的集成，出产出具有高灵敏度、快速呼应时刻和低功耗的气体传感器芯片。这一些办法为未来高功能晶圆级纳米制作及纳米传感器的使用供给了一种通用办法。

  李铁，博士，博士导师，我国科学院上海微体系与信息技能研讨所二级研讨员，科技处处长，微体系技能要点实验室副主任，上海市东方英才领军人才，上海市优异学术带头人。现任上海市传感技能学会副理事长、Transducers、IEEE MEMS国际会议TPC成员等职。承当国家要点研制方案课题、国家973、国防973、863、国家严重科学技能专项课题、国家立异研讨集体科学基金、国家自然科学基金、我国科学院项目等国家省部级项目80余项。在硅基热电器材及模组、硅纳米线制作及器材等方面展开体系研讨并完成使用。在Nano Letters等宣布论文200余篇，获我国创造专利75项、美国专利3项、日本专利1项。获国家技能创造二等奖、上海市技能创造一等奖/二等奖、上海市科技进步二等奖、美国轿车电子学会（SAE）Arch T. Colwell Merit 奖。被评为“我国科学院优异研讨生导师”，辅导的博士生取得“我国科学院院长特别奖”和我国科学院百篇优异博士论文。