三维轮廓仪采取了激光三角反射式原理：激光束被放大形成一条激光线投射到被测物体表面上，反射光透过高质量光学系统，被投射到成像矩阵上，经过计算得到传感器到被测表面的距离（Z轴）和沿着激光线的位置信息（X轴）。移动被测物体或轮廓仪探头，就能够获得一组三维测量值。

  8、可搭配彩色或单色相机进行2D量测，使系统亦具备工具显微镜量测功能；

  10、提供多种表面参数量测功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度。

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